- [乐竞lejing(中国)动态]二氯硅烷分装和真空系统废气乐竞入口工艺[ 2025-05-28 00:00 ]
- 二氯硅烷（SiH?Cl?）分装及真空系统废气乐竞入口工艺需结合其化学特性（易燃、有毒、遇水水解）和工艺安全要求，设计分装流程与废气净化方案。以下是分步说明： 一、二氯硅烷分装工艺 系统设计原则 密闭性：全程采用双机械密封、真空夹套管道，避免泄漏。 惰性化：分装前用高纯氮气（N?）吹扫系统，确保氧含量<1ppm，防止与二氯硅烷反应。 压力控制：通过减压阀和背压阀维持分装压力≤0.
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